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  • 第592章 美国人惹上这家人,真是倒了八辈子的血霉

    作品:《四合院:从港岛混混到爱国大亨

            一九九七年,十一月。上海,浦东。

        秋雨连绵,打在“002所”灰色的外墙上,留下一道道深色的水痕。这栋不起眼的小楼,对外挂着“和记精密仪器维修中心”的牌子。

        但如果有人能通过那是三道生物指纹锁和一道视网膜扫描门,就会发现里面的空气不仅干燥,而且充满了令人窒息的绝望。

        地下二层,超净实验室。

        “不行!还是不行!”

        一声暴躁的怒吼打破了只有风机嗡鸣声的死寂。

        一位头发花白的老专家狠狠地把手中的测试报告摔在桌子上。他是光学的泰斗,平日里温文尔雅,此刻却像是一头被困在笼子里的老狮子。

        “193纳米波长的氟化氩激光,物理极限就是摆在那里的!”

        老专家指着显微镜下的晶圆,手指都在颤抖,“无论我们怎么调整透镜的数值孔径(NA),无论我们怎么优化光刻胶,到了130纳米这个节点,光线就像是散了架的面条,根本刻不出清晰的电路!”

        这就是“衍射极限”。

        它是物理学设下的一道叹息之墙。

        倪光南坐在一堆废弃的图纸中间,双眼布满血丝。

        他手里紧紧攥着那块从ASML二手机器上拆下来的透镜组。

        “老王,再试一次……”倪光南的声音沙哑,透着一股不肯认输的倔强。

        “试什么?试多少次都是一样的!”老专家摘下眼镜,痛苦地捂住脸,“倪工,我们必须承认差距。西方人搞了几十年才摸到的门槛,我们想靠这几个人、几条枪,三年就冲过去?这是违背科学规律的!”

        实验室里,几十名年轻的研究员垂着头,气氛压抑得让人想哭。

        他们不缺钱,陈念给的预算甚至多到花不完。

        他们也不缺人,全国最好的光学、电子、机械专家都在这里。

        他们缺的是一条路。

        一条能绕过物理法则,通往未来的路。

        “要不……”有人小声嘀咕,“咱们就按那个WTO协议,先做做低端?180纳米其实也够VCD用了……”

        “放屁!”倪光南猛地抬头,眼神凶狠,“那是跪着要饭!咱们这代人跪了,以后孙子辈都站不起来!”

        就在这时,气密门“嗤”的一声打开了。

        陈山和陈念走了进来。

        陈山穿着一件普通的夹克,手里依然盘着那对红得发紫的核桃。

        他看了一眼满地的废纸,又看了看一脸颓丧的众人,脸上没有丝毫怒意,反而笑呵呵地走到饮水机旁。

        “怎么?被鬼打墙拦住了?”陈山接了一杯水,轻轻晃了晃。

        “陈先生,这不是鬼打墙,这是瑞利判据。”倪光南站起身,苦笑道,“我们在空气中进行光刻,空气的折射率是1。按照公式,我们已经被锁死在193纳米这个光源上了。要想更进一步,除非能造出波长更短的激光器,比如157纳米的氟气激光。但那个技术……哪怕是美国人,现在也还在实验室里摸索。”

        “那就别用空气嘛。”陈山喝了一口水,语气轻松得像是在讨论晚饭吃什么。

        倪光南愣了一下:“不用空气?那用什么?真空?”

        “真空也不行,真空没有介质,折射率还是1。”旁边的老专家叹了口气,“陈先生,您是搞战略的,技术上的事……”

        “我是不懂技术。”陈山走到实验台前,把那个装满水的纸杯放在了昂贵的光刻机镜头模型旁边。

        他指了指杯子里的水。

        陈山转过头,看着倪光南,“老倪,水的折射率是多少?”

        倪光南下意识地回答:“纯水的折射率是1.44。”

        话音刚落,倪光南的身体猛地僵住了。

        就像是一道闪电,瞬间劈开了他混沌的大脑。

        1.44。

        公式:分辨率 = k1 * λ \/ NA。

        如果介质的折射率从空气的1变成了水的1.44……

        等效波长 = 193nm \/ 1.44 ≈ 134nm!

        不需要研发新的光源!不需要等待那个遥不可及的157纳米激光!只要在镜头和硅片之间加一层水,现有的设备就能直接突破物理极限!

        “水……”倪光南喃喃自语,瞳孔剧烈收缩,“在镜头和晶圆之间……加水?”

        “疯了!这简直是疯了!”旁边的老专家惊叫起来,“电子设备最怕水!而且水会产生气泡,会污染光刻胶,高速运动下水的张力怎么解决?这在工程学上是自杀!”

        “工程学的问题,只要肯砸钱,总能解决。”陈念站在一旁,淡淡地补了一刀,“但物理学的问题,砸钱也解决不了。”

        陈念从公文包里拿出一份文件,那是陈山根据后世记忆整理的《关于浸没式光刻系统的可行性猜想》。

        “爸说得对。”陈念把文件递给倪光南,“为什么非要死磕空气?”

        倪光南颤抖着手接过文件,只看了第一页的示意图,呼吸就变得急促起来。

        那是一个极其大胆、却又在理论上完美闭环的设计。

        利用水的折射率,将193纳米的光源“欺骗”成134纳米。这不仅仅是技术的突破,这是思维维度的降维打击!

        “快!快!”倪光南突然像个疯子一样大吼起来,把手里的图纸撕得粉碎,“把那台ASML的废机器抬过来!拆掉工件台!给我准备去离子水!我们要改装!”

        “倪工,这可是价值千万的设备……”

        “拆!出了事我负责!”倪光南一把推开阻拦的研究员。

        ……

        凌晨四点。

        实验室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻机,此刻被改得面目全非。核心曝光区域被加上了一个简陋的、甚至是用玻璃胶密封的注水槽。

        “注水完毕。无气泡。”

        “液面稳定。”

        “光源预热完成。”

        所有人的心都提到了嗓子眼。

        陈山依然坐在角落里,手里盘着核桃,神色平静。陈念则站在倪光南身后,目光紧锁着监视器。

        “曝光。”倪光南按下了红色的按钮。

        “滋——”

        看不见的紫外激光穿过透镜,穿过那层清澈的去离子水,最终轰击在涂满光刻胶的硅片上。

        几秒钟后。

        显微镜的图像被投射到了大屏幕上。

        死寂。

        又是死寂。

        紧接着,是一声压抑不住的抽泣。

        屏幕上,那些原本在干式光刻下模糊不清、粘连在一起的线条,此刻变得根根分明,锐利如刀。

        那是90纳米级别的线条。

        那是全世界都在梦寐以求、却始终无法触及的精度。

        “成了……”刚才那个反对最激烈的老专家,此刻跪在地上,捧着脸痛哭流涕,“真的成了……竟然真的成了……”

        实验室里爆发出了雷鸣般的欢呼声。有人把帽子扔上了天,有人抱在一起跳,倪光南靠在实验台上,摘下眼镜,擦去了眼角的泪水。

        这一刻,他们跨越了整整两代技术鸿沟。

        当西方还在为157纳米光源焦头烂额时,中国已经拿到了通往45纳米、甚至28纳米制程的钥匙。

        “安静。”

        陈念的声音带着一股冷意,瞬间让沸腾的实验室冷却下来。

        他走到实验台前,看着那张代表着世界最高水平的显微照片。

        “把照片销毁。”陈念冷冷地说道。

        “什么?”倪光南愣住了,“陈总,这是重大突破!这是我们要向国家……”

        “我说了,销毁。”陈念转过身,目光扫过在场的每一个人,“这项技术,列为绝密。除了这间屋子里的人,谁也不准透露半个字。”

        “为什么?”年轻的研究员不解,“我们有了这个,就不怕美国人的封锁了啊!”

        “因为我们要的不仅仅是技术,我们还要产业链。”陈念拿起那张照片,用打火机点燃。

        火苗跳动,映照着他那张年轻却深沉的脸。

        “如果我们现在公布,ASML和尼康会立刻跟进。以他们的工业底子,半年就能造出商用机。到时候,我们依然是被卡脖子的命。”

        陈念看着化为灰烬的照片,嘴角勾起一抹狡黠的弧度。

        “我们要让他们觉得我们失败了。我们要让他们觉得,中国人确实像巴尔舍夫斯基说的那样,只能造衬衫。”

        陈念看向倪光南:“倪老,明天写一份报告。就说实验彻底失败,193纳米无法突破。我们需要向ASML购买更多的‘报废’零件来维持低端研究。”

        “我们要像一只贪婪的、却又无能的饕餮,把他们仓库里积压的那些镜头、光源、甚至是即将淘汰的生产线,全部吃进来。”

        “等我们用这些‘废铁’组装出一百台浸没式光刻机,等我们的芯片铺满全世界的时候……”

        陈山站起身,笑着接过了话茬:“到时候,再告诉他们。”

        倪光南看着这对父子。

        一个老谋深算,一个步步为营。

        他突然觉得,美国人惹上这家人,真是倒了八辈子的血霉。

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